在半导体制造过程中，经常涉及纳米级别的物理或化学反应，在这种情况下，若处于通常的大气状态将很大程度影响半导体质量。
以外延生长为例，在常规环境下，晶体表面将接触几亿个气体分子，会阻碍外延层的有序排列，引入大量缺陷。合适稳定的真空度将为半导体的卓越性能提供有利基础。您将听到：
● 如何在半导体制造过程中获得高质量的真空环境？哪些半导体制程可能会用到真空泵？
● 随着半导体产业的发展，真空设备领域会面临哪些新的挑战？中国真空设备市场与国外相比有何区别？
本期我们邀请到埃地沃兹贸易（上海）有限公司应用技术总监马震先生，听他谈谈真空系统在半导体制造中的应用及未来趋势。
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