现如今,人们对产品性能的追求不断提高,芯片的应用越来越广泛,芯片的良率、质量备受关注。控制生产过程使用到的大宗气体中微量杂质浓度也是保证各个环节产品质量十分重要的事情,这需要用到高灵敏度的气体分析设备进行检测,光腔衰荡气体分析仪就是其中的一种。其实不仅在半导体产业,微量气体检测在气体制造、化学工业、电力系统等很多领域中都必不可少。本期您将听到:
● 基于光腔衰荡光谱技术的气体分析设备在检测气体时有何长处,这样的设备又是如何提高半导体产品质量的?
● 气体检测厂商的客户具体都有哪些?与国外同类型厂家相比,本土相关企业有哪些优势,又存在哪些不足?
本期我们邀请到内蒙古光能科技有限公司副总经理王锐先生做客芯片揭秘,听他具体讲讲光腔衰荡光谱技术这种高灵敏度的气体检测新方法。
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