芯声音 | EUV光刻机产能如何？中科院5nm光刻技术和ASML光刻机相比有何区别？

2023-09-10

在本期节目中，芯片揭秘主讲人谢志峰博士挑选了一些听友的问题进行解答。您将听到：

● EUV光刻机产能如何？目前中芯国际有多少台光刻机在生产？

● 中科院的5nm光刻技术，和ASML 5nm光刻机相比有什么区别？

● 什么是逻辑芯片，哪些芯片属于逻辑芯片？为什么晶圆是圆的而不是不是方的？

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