5月17日消息,据韩媒KoreaHerald报道,韩国最大半导体设备制造商、三星供应商Semes的两名前雇员,涉嫌参与向一家中国公司出售关键的晶圆清洗机而被起诉!
据悉,被倒卖的设备是来自Semes的尖端晶圆清洗机。
韩国检方表示,Semes的2名前员工参与向一家未公开的中国实体企业出售关键的晶圆清洗机,另外还有2名Semes供货商员工也涉案,他们都被检察官以违反《防止不正当竞争和商业秘密保护法》的罪名起诉。
据韩媒报导,被指控技术盗窃的人共获得大约800亿韩元的技术窃密回馈。地方检察厅发言人表示,完成调查还需要几周时间。
这些机器被认为是三星尖端半导体芯片技术的关键。在芯片制造流程中,使用清洗设备保持晶圆的清洁至关重要。随着晶圆变得更薄,该工艺需要更复杂的方法。而克服技术障碍的方法之一是让设备使用超临界流体状态的二氧化碳来清洁晶圆,与使用其他流体(如超纯水)进行清洁相比,这可以减少对晶圆的损坏。
Semes是一家提供从清洁到蚀刻、摄影、测试和封装等芯片制造过程的设备供货商,也是全球第一家开发技术晶圆清洗机的公司,并独家供应给三星电子,专门用于内存芯片、处理器芯片等制造。三星在Semes拥有超过90%的股份。
来源:中国半导体论坛