光刻胶是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。

由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。

半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。

光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。

在光刻胶工艺过程中，涂层曝光、显影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下来，该涂层材料为正性光刻胶。

如果曝光部分被保留下来，而未曝光被溶解，该涂层材料为负性光刻胶。

1、北龙头-北京科华微电子材料有限公司和彤程新材（两个女人的传奇）

北京科华微电子材料有限公司，是一家产品覆盖KrF（248nm）、I-line、G-line、紫外宽谱的光刻胶及配套试剂的供应商与服务商，也是集先进光刻胶产品研、产、销为一体的拥有自主知识产权的高新技术企业。科华微电子拥有中高档光刻胶生产基地，分别有百吨级环化橡胶系紫外负性光刻胶和千吨级负性光刻胶配套试剂生产线、G/I线正胶生产线（500 吨/年）和正胶配套试剂生产线（1000 吨/年）、百吨级248nm光刻胶生产线。

彤程新材：国内KrF光刻胶唯一量产

通过收购北京科华和北旭电子，向下游延伸到光刻胶领域。目前，公司持有北京科华42.26%的股份（52.63%表决权），持有北旭电子45%的股份，均为第一大股东。

北京科华是唯一被SEMI列入全球光刻胶八强的中国光刻胶公司，拥有KrF（248nm）、KrF去年量产，在中芯供给KrF份额约为5%，公司的目标是在2021年做到15-20%的份额。

彤程新材旗下彤程电子直接持有北京科华56.56%的股权，合计持有北京科华超过70%的表决权。

中国半导体光刻胶产业的“拓荒者”

——彤程新材首席科学家、科华董事长陈昕

在中国半导体圈，陈昕是一个

女人的

传奇——在53岁时创立了北京科华，并用10年的时间让北京科华实现了国内领先。

2004年夏天，在和平里七区一间不到30平方米的小房子里，北京科华诞生了。陈昕的目标是：在国内创建一个具有国际水准的光刻胶企业，用5年时间帮助国内实现当时先进的G/I线光刻胶的产业化。

1999年，张宁创立彤程化工，开始从事特种橡胶助剂行业。

张宁现任彤程新材董事长。

2019年6月3日，张宁入选福布斯中国科技女性榜

两位杰出女性正书写中国光刻胶的传奇！

2、南龙头——南大光电

南大光电的技术来源于南京大学，创始人孙祥祯教授。

宁波南大光电的ArF光刻胶产品测试各项性能满足工艺规格要求，良率结果达标。南大光电ArF光刻胶产品开发和产业化”项目取得了关键性的突破，成为国内通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶。

ArF光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料，可以用于90nm-14nm甚至7nm技术节点的集成电路制造工艺。广泛应用于高端芯片制造，包括逻辑芯片、AI芯片、5G芯片、大容量存储器和云计算芯片等。

此次实现突破的为193nm 的ArF光刻胶。

193nm光刻胶作为当前高端芯片制造中最为核心的原材料，被誉为半导体工业的“血液”，可以用于90nm~14nm技术节点的集成电路制造工艺。

截至今年6月底，公司安装完成一条193nm光刻胶生产线，用于产品检测的光刻机也已完成安装，产线和光刻机均处于调。

3、晶龙头——晶瑞电材

晶瑞电子材料股份有限公司是一家集研发、生产和销售于一体的科技型新材料公司，为国内外新兴科技领域提供关键材料和技术服务。主要产品包括超净高纯试剂、光刻胶。

子公司苏州瑞红电子化学品有限公司成立于1993年，是国内著名的专业生产微电子化学品的工厂。公司主要生产光刻胶、配套试剂、高纯化学试剂等黄光区湿化学品，应用于FPD(LCD、TP、OLED、CF)、LED、IC等相关电子行业。

苏州瑞红作为国内光刻胶领域的先驱，规模生产光刻胶近30年，产品主要应用于半导体及平板显示领域，产品技术水平和销售额处于国内领先地位。公司紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分g线等高端产品已规模供应市场数十年；i线光刻胶近年已向中芯国际等企业供货；公司的KrF光刻胶已完成中试，建成了中试示范线，目前已进入客户测试阶段，测试通过后即可进入量产阶段。

4、强龙头-强力新材

国内光刻胶专用化学品龙头企业。

公司是国内少数专业从事光刻胶专用电子化学品的研发、生产和销售的企业之一。

公司主要产品有两大系列，公司是全球 PCB 光刻胶的主要材料供应商，国内少数能量产光刻胶原材料的公司之一，公司占据PCB干膜光刻胶引发剂市场绝对龙头，公司的 LCD 光刻胶光引发剂系列产品更是打破了巴斯夫等跨国公司对该类产品的垄断，填补了国内空白。光刻胶专用化学品国内领跑者，与台湾长兴化学、日本旭化成等全球知名，光刻胶生产企业建立了良好的稳定合作关系。公司主要产品为光刻胶光引发剂和光刻胶树脂两大系列，光引发剂产品打破国外垄断填补国内空白。

来源：半导体设备资讯站

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