中国首台先进封装光刻机交付

上海微电子首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户

2月7日，上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。