英诺赛科于2021年引入ASML光刻机，凭借着其卓越的成像性能和独特的TWINSCAN架构（双晶圆工件平台），英诺赛科进一步提升了硅基氮化镓功率器件制造的产能及产线良率。此次庆典上，ASML副总裁兼中国区总经理沈波代表ASML被英诺赛科授予“最佳战略合作伙伴”称号。
据悉，英诺赛科成立于2015年12月，创始人骆薇薇博士曾担任NASA科学家。英诺赛科是一家8英寸硅基氮化镓芯片集成制造的企业。2017年11月，英诺赛科率先在珠海建设完成全球首条8英寸硅基氮化镓量产线。
经查询，CATL宁德时代创始人曾毓群已投资英诺赛科，这也是他以个人名义投资的首家半导体企业。
值得注意的是，近期晶瑞电材也表示，公司已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。目前晶瑞电材KrF光刻胶已经完成中试，进入了客户测试验证阶段。
来源：辣笔老芯
赵工
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