CPU制造工艺流程
1、CPU 最初来至于沙子
2、因为沙子中沙含有25%的硅,是地壳中第二多元素,尤其是石英中二氧化硅的含量非常高,这就是制造半导体的硅的基础。
3、沙子经过融化后,将其中的硅进行分离,再经过多个步骤进行提纯,以最终达到符合半导体制造的质量,这就是所谓的电子级硅。
4、一个被铸成锭后的电子级硅的单晶体,重量大约为100千克,硅的纯度达到了99.9999%。
5、铸好锭后的单晶体,将进入切割阶段,将整个锭切成一片一片的圆盘,也就是我们俗称的晶圆,这样求切割出来的是非常薄的,锭的直径要根据对晶圆的需求来制定。
6、切割完成后,晶圆就要进行抛光,直至表面如镜面一样光滑,Intel并不生产自己的锭和硅片,而是由第三方公司购买可随时投入生产的晶圆,以减少成本。
7、上图中的蓝色液体,这是类似胶片拍照时的光阻剂(原理类似),晶圆不停旋转,以使其将液体均匀涂抹在晶圆上,并且涂层也是非常薄的。晶圆在此步骤进行旋转,以使涂层均匀分布。
8、光刻阶段:在这一阶段,晶圆完成暴露于紫外线下,以此来使涂抹在上面的薄膜材料发生化学反应,就像照相时按下快门,影像就印在胶片上,这也是运用了相似的原理,紫外线通过上面有设计好的各种电路,照射后这些电路就会像照片一样被印在晶圆上。
9、图中为单一晶体管,晶体管作为开关控制一个计算机芯片内电流的流动。一个枕头大小的部分可以放30万个左右的晶体管。
10、在晶体管暴露在紫外线下后,光阻剂完全溶解,先试试吸附在晶体管上的面膜。
11、光阻层覆盖的地方被保护起来不能被雕刻,而暴露的部分是可以的,也就是说需要在暴露的地方进行雕刻,就像阳光只能透过窗户打开的部位照射进来一样。
12、雕刻后去掉光阻层,这时晶体管的形状就可见了。
13、接着再重新涂上蓝色的光阻剂并再次进行紫外线照射,进入下一步以前光阻层需要被洗刷,也叫做离子掺杂,这一过程就是让离子微粒接触到晶圆,从而使硅改变其化学性质。
14、接下来要进行离子注入,也就是用离子机轰击暴露地区的硅片,用离子撞击植入硅片的方式来改变这些地区硅的导电性,离子需要非常高速的撞击到晶圆表面上,通过电场加速后的离子速度可以达到每小时30万公里。
15、当离子注入后,光阻层将被移除,绿色部分的材料会掺入晚来的原子。
16、这时晶体管是接近完成,晶体管洋红色表面是保温层,上面有三个洞,这三个洞将用来填补铜,以便连接到其他晶体管。
17、在晶圆放入硫酸铜溶液这个阶段,铜离子的沉积到晶体管,这个过程被称为电镀。游离的铜离子分别到晶圆的阳极与阴极。
18、之后,铜离子作为铜箔曾附着在晶圆表面。
19、多余的材料是被抛光掉,留下了非常薄的一层铜。
20、多金属层是建立各种晶体管的互连,虽然电脑芯片看起来十分平坦,但实际上可能有超过20层,形成复杂的电路。如果你放大一个芯片,你会看到一个复杂的电路网络线和晶体管,看起来像一个未来的、多层次的公路系统。
21、在这部分准备将晶圆建立第一个功能测试,在这个阶段的测试模式中输入每个单芯片,并监测比较芯片的反应,从而得到“正确的答案”(反馈的正确信息)。
22、经测试后,测试良好的晶圆的部分将被确定作为处理器单元,然后将晶圆切割成很多小片。
23、筛选核心的过程就是模具向晶圆进行测试看回馈的是否是“正确答案”(应该是某种测试参数),如果是,将继续下一步,不合格的核心将被被丢弃。
24、这是一个被分离出来的的核心,由上一道工序切割而成,上图显示的是IntelCorei7处理器的核心。
25、绿色PCB板、模具(切割加工好的晶圆)以及散热片放在一起形成一个完成的处理器,绿色基板(类似PCB)建立了处理器的电气和机械接口,其他电脑系统互联,银色的是散热片,也就是我们常见的处理器外面的金属壳,在处理器运行过程中提供散热支持。
26、微处理器是尖端科技,几乎被几大巨头所垄断并至今被国外封锁。
27、在最后要测试处理器,将检验他们的主要性能。
28、基于测试的结果,将具有相同的能力的处理器归属一类,这一过程被称为“分块”过程,分级确定了处理器的最高工作频率,根据稳定性等规格制定价格。
29、生产和测试的处理器,要么分成散装销往系统制造商,要么分成盒装在零售商店出售。
来源:半导体设备资讯站
赵工
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