据闪电新闻报道,德州市以集成电路产业为抓手,加速布局电子信息产业链,为经济高质量发展提供重要支撑。
今天一起来看德州有研半导体“硅片”炼成记。
像煤块儿一样的多晶硅究竟有多“纯”?
山东有研半导体材料有限公司员工姜舰介绍:“原材料多晶硅,它的纯度可以达到11个9,99.999999999%。”
即便多晶硅如此“纯洁”,因为排列无序,性能远不及单晶硅,还是被嫌弃。
芯片、半导体这样一个精细行业,想要被喜欢,这个过程可不轻松。
话不多说,上坩埚。
山东有研半导体材料有限公司总经理助理吴志强介绍:“制作单晶的单晶炉,以前它是进口的,现在国产做的比较好,它比较高,单晶要整个生长到上边去,在氩气的气温下,通过一千六百度的温度,把单晶拉出来。这根晶体已经开始生长了,经过大概两到三天的时间,会长成一个晶棒。”
表面风平浪静、一派祥和,看热闹的心咋就放不下呢?
1600度,要在里边待上三天两夜,将近70个小时。
熔化再凝固,围绕着一根旋转的单晶硅,生长成一根排列有序的单晶硅棒。
山东有研半导体材料有限公司总经理助理吴志强说:“这是一根刚生产出来的硅单晶,它是八英寸的,一米六长。经过冷却测试合格以后,进入硅片加工程序。”
这些单晶硅棒一部分作为产品销售,一部分作为生产硅片的材料留厂。山东有研半导体材料有限公司副总经理李耀东介绍:“单晶硅棒变成最终的成品,根据不同的产品需要,要经过二十多道到五六十道不等的工序,一旦任何一个工序出现一点瑕疵,就前功尽弃了。”
线切、清洗、倒角、研磨、再清洗、热处理、抛光、再清洗、检测,层层关卡,单晶硅棒终于华丽蜕变。
经过下游厂商的进一步加工,完整的大硅片被分成众多比拇指还小的小方片儿。
山东有研半导体材料有限公司总工程师肖清华说:“我们看到一个小小方块里面,按版图来讲,它其实就是设计的一个单独的芯片,这里面一个小方块会集成十几亿个器件和电路。”
山东有研半导体材料有限公司总工程师肖清华介绍:“半导体行业在国民经济里面,占比确实是比较重要的一个领域,大概全球GDP里面就占到将近10%。现在半导体是很多产业创新的一个引擎。”
目前,包括山东有研在内的国内多家企业已经实现了12英寸主流半导体硅片的突破。半导体“硅片”,这个在黄河古代文化发祥地之一的德州成长起来的“毛头小子”,也会在未来的芯片材料发展中贡献自己的“山东力量”。
有研半导体材料有限公司(以下简称“有研半导体”)成立于2001年6月,有研半导体自上世纪50年代开始硅材料研究,历经半个多世纪的时间,积累了丰富的硅材料研发核心技术及生产经验主要产品包括集成电路用5-12英寸硅单晶及硅片、功率集成电路用5-8英寸硅片、3-6英寸区熔硅单晶及硅片、集成电路工艺设备用超大直径硅单晶及硅部件等。
据亚化咨询统计,有研半导体在北京及山东德州设有硅片厂,具备6/8/12英寸硅片的生产能力。2020年山东有研新工厂的8英寸产能为8万片/月,2021年预计达到13万片/月的产能。12英寸目前正处于量产化的研究开发阶段,已于2021年开工建设,项目计划总投资62亿元,第一阶段建设12英寸硅片加工厂房、动力站、化学品输送等设施,形成年产120万片12英寸硅片能力。
来源:半导体前沿