集成电路产业是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性、先导性产业，已经成为全球关注的核心焦点，也是各国在科研领域竞争的主战场。当前，中国面临的“芯”困境，很大程度上是因为集成电路领域的关键核心技术“受制于人”。集成电路人才总量不足、领军人才匮乏，已成为制约产业发展最突出的瓶颈问题。因此，要摆脱“芯”困境，就必须加快培养“创芯”人才，探索出顺应时代要求的“强芯”之路。
《集成电路先进制造工艺工程师》课程经评审已纳入《工业和信息化职业技能提升培训项目指导目录》，是工业和信息化部教育与考试中心开展的职业技能能力提升专项培训的重点课程之一，行动计划的推荐培训项目，旨在培养集成电路中级应用型人才，提升一线企业工作人员的理论和动手能力。课程共计46学时，面向集成电路设计、装备、材料及量产企业专业人员能力提升、以及企业刚接收的应届研究生培训需求。课程设置包括集成电路制造过程中常用设计软件、光刻、刻蚀、注入、扩散、清洗、平坦化、外延、原子层薄膜沉积、各种基础薄膜工艺的主流设备构造、原理、工艺应用，以及与集成电路全流程制造的集成技术。讲课教师均为具有10年以上集成电路先进制造工艺研发经验的高级工程师。
北方工业大学培训中心作为工业和信息化职业技能提升行动工作委员会会员单位，负责此次培训推广实施工作。
《集成电路先进制造工艺技术》课程是工业和信息化部教育与考试中心组织开展的“工业和信息化职业技能提升工程”入选培训项目，旨在培养集成电路初级应用型人才。
【面向对象】面向集成电路制造、装备、材料等企业专业人员能力提升，以及物理、材料等本专科生的培训提升需求。
【主办单位】北方工业大学培训中心
【授课方式】线上直播授课（安博O课平台+虚拟仿真实训基地平台）
【培训费用】3500元/人，在校生或10人以上团体八折优惠。校友单独招生，本校贫困生免学费；费用包括：学费、证书工本费。
【培训时间】2023年4月10日 — 4月20日
【结业证书】由工业和信息化部教育与考试中心颁发《工业和信息化职业能力证书》,学员信息纳入“工业和信息化技术技能人才库”，可在官网（www.miiteec.org.cn）查询。
【课程内容和安排】 38学时（26理论学时+12实训学时实训时间自主进行）
上课时间 | 课程名称 | 涵盖的知识点 | 授课老师 | 课时 |
4月10日 周一19:30-21:00 | 集成电路制造技术综述 | 集成电路制造过程总体介绍；量产质量控制要素 | 闫江 | 2 |
4月11日 周二19:30-21:00 | PDK建模与版图设计 | 如何进行PDK建模；常用版图设计软件与基本使用 | 赵劼 | 2 |
4月12日 周三19:30-21:45 | 半导体物理初步 | 晶体结构与能带理论 | 张静 | 2 |
实训指导 | 芯片制造设备认识实习基本操作教学 | 封国强 | 1 | |
4月13日 周四19:30-21:00 | 光刻工艺 | 光刻工艺基本原理、设备与典型应用 | 贺晓彬 | 2 |
4月14日 周五19:30-21:00 | 刻蚀基本原理与基础工艺 | 刻蚀工艺基本原理、设备与典型应用 | 周娜 | 2 |
4月15日 周六14:00-15:30 | CVD工艺 | 化学气相沉积工艺基本原理、设备与典型应用 | 白国斌 | 2 |
4月15日 周六19:30-21:00 | 薄膜沉积PVD工艺 | 物理气相沉积工艺基本原理、设备与典型应用 | 高建峰 | 2 |
4月16日 周日14:00-15:40 | 清洗设备及工艺 | 清洗、腐蚀工艺基本原理、设备与典型应用 | 胡艳鹏 | 1 |
CMP设备及工艺 | 化学机械平坦化工艺基本原理、设备与典型应用 | 张月 | 1 | |
4月16日 周日19:30-21:00 | 离子注入工艺 | 离子注入工艺基本原理、设备与典型应用 | 刘金彪 | 2 |
4月17日 周一19:30-21:10 | 扩散工艺 | 扩散工艺基本原理、设备与典型应用 | 熊文娟 | 1 |
净化间6S管理和安全规则 | 净化间安全与6s管理规则 | 曲扬 | 1 | |
4月18日 周二19:30-21:10 | 工艺监测 | 集成电路制造在线量测的基本原理与典型应用 | 李亭亭 | 1 |
电学测试 | 电学测试设备的基本原理与典型应用 | 张鹏 | 1 | |
4月19日 周三19:30-21:00 | 物理化学表征 | 半导体技术常用的物理化学表征方法 | 王晓磊 | 2 |
4月20日 周四19:30-21:00 | CMOS工艺集成 | CMOS工艺集成全流程技术 | 王琪 | 2 |
在线自主进行 | 实训1 | 极紫外光（EUV）光刻机认识实习 | 封国强 | 1 |
实训2 | 硅刻蚀机、介质刻蚀机、光刻胶刻蚀机、化合物刻蚀机认识实习 | 1 | ||
实训3 | 金属刻蚀机认识实习 | 1 | ||
实训4 | 金属有机化学气相沉积设备和硅外延设备认识实习 | 1 | ||
实训5 | 物理气相沉积设备认识实习 | 1 | ||
实训6 | 原子层沉积设备认识实习 | 1 | ||
实训7 | 槽式清洗机认识实习 | 1 | ||
实训8 | 离子注入机认识实习 | 1 | ||
实训9 | 氧化炉认识实习 | 1 | ||
实训10 | 退火炉、扩散炉和低压化学气相沉积设备认识实习 | 1 | ||
实训11 | 激光退火设备认识实习 | 1 | ||
4月30日19:30-21:00 | 考试 | |||
【实训课程介绍】
学生通过示范性虚拟仿真实训基地平台进行实训，平台基于国内先进Foundry生产线打造，实现先进工艺的真实场景还原，所覆盖的场景内容包括自动化天车系统、EUV光刻机等，真实与工业界接轨，学生按标准产线要求进行全部的实习实训活动，所操作的内容直接对应产线的相关集成电路设备工艺工程师的职位。
【授课团队介绍】
授课讲师主要来自北方工业大学和中科院微电子所研究所的一线工程研发团队。该团队自2009年起参加了多项集成电路领域的国家级重大研发项目，包括22nm，14nm，7-5nm的集成电路核心器件结构、新材料集成与工艺整合方面的研发工作。授课内容将紧密结合集成电路产线使用设备，进行原理与实际应用的讲授，旨在尽快提升非集成电路制造领域人员对相关知识的认知与理解。
【报名方式】请学员将姓名、电话、身份证号码、邮寄地址和发票信息及一寸蓝底照片（以附件形式）发至报名邮箱jcdlgcspx@163.com。
汇款单位名称：北方工业大学
开户银行：建行北京市石景山支行营业部
开户帐号：11001006600056081036
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赵工
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